Главная страница Полупроводниковые электровакуумные приборы [0] [1] [2] [3] [4] [ 5 ] [6] [7] [8] [9] [10] [11] [12] [13] [14] [15] [16] [17] [18] [19] [20] [21] [22] [23] [24] [25] [26] [27] [28] [29] [30] [31] [32] [33] [34] [35] [36] [37] [38] [39] [40] [41] [42] [43] [44] [45] [46] [47] [48] [49] [50] [51] [52] [53] [54] [55] [56] [57] [58] [59] [60] [61] [62] [63] [64] [65] [66] [67] [68] [69] [70] [71] [72] [73] [74] [75] [76] [77] [78] [79] [80] [81] [82] [83] [84] [85] [86] [87] [88] [89] [90] [91] [92] [93] [94] [95] [96] [97] [98] [99] [100] [101] [102] [103] [104] [105] [106] [107] [108] [109] [110] [111] [112] [113] [114] [115] [116] [117] [118] [119] [120] [121] [122] [123] [124] [125] [126] [127] [128] [129] [130] [131] [132] [133] [134] [135] [136] [137] [138] [139] [140] [141] [142] [143] [144] [145] ка - дырки, они и определяют тип электропроводности дырочного р-полупроводника. Ударная генерация пар зарядов возникает в сильном электрическом поле напряженностью около W В/см. Такая напряженность лоля наблюдается в области очень тонкой (около нескольких микрон) границы раздела полупроводников с различным типом проводимости. При высокой напряженности поля свободные частицы при-юбретают кинетическую энергию, достаточную для разрыва валентных связей собственных атомов полупроводника. Ионизация атомов примеси (в зависимости от типа полупроводника) может наступить и при меньшей (примерно 10 В/см) напряженности поля. Световая генерация возникает при поглощении полупроводником квантов света. За счет энергии фотона разрывается валентная связь атомов собственного полупроводника и образуются двухполяр- ные подвижные носители зарядов -(электронов и дырок), что и предопределяет возникновение биполярной (двухполярной) световой генерации. При поглощении квантов света примесными атомами возникает монополярная (однополярная) генерация. Рекомбинация. Одновременно с генерацией в полупроводнике непрерывно происходит обратный процесс - рекомбинация носителей заряда, т. е. возвращение электронов из зоны проводимости в валентную зону и восстановление ковалентных связей. Этот процесс сопровождается выделением первоначально затраченной на генерацию энергии. В состоянии термодинамического равновесия процессы генерации и рекомбинации носителей заряда взаимно уравновешены, т. е. скорости генерации и рекомбинации Го равны (Яо== = Го). В равновесном состоянии скоростей и Го существует равновесная концентрация электронов «о и дырок ро в единице объема. Скорость рекомбинации в равновесном состоянии пропорциональна произведению концентраций рекомбинирующих . частиц, Го=г«(,Ро, (2.4). где г - коэффициент рекомбинации, характеризующий вероятность захвата электрона в единицу времени при единичной концентраций. Среднее время жизни электронов и дырок, численно равное среднему времени между актами их рекомбинации, определяется как отношение концентрации носителей к скорости рекомбинации: По Пд I Ро Ро 1 /о т„=-- =-=-; т„ = - =-= -\ • (-.о) Го ГИоРо Ро Го гщРо гщ Неравновесное состояние наступает при неравенстве скоростей генерации и рекомбинации и сопровождается накоплением или рассасыванием неравновесных избыточных носителей. Обычно неравновесие возникает при нетепловом воздействии на полупроводник (свет, электромагнитное поле и другие факторы) из-за генерации новых носителей. Неравновесная концентрация п превышает равновесную на величину Кп или Др, следовательно, избыточная концентрация электронов An и дырок Ар: Ап = п -Hq; hp = р -Pq. (2.6) дона npedoSunecmu УроВеиь лоВушни Валентная зсна Для обеспечения нейтральности полупроводника избыточные концентрации электронов и дырок должны быть равны {Ап=Ар). Время жизни избыточных носителей в условиях нейтральности одинаково для электронов и дырок (2.7) рлс. 2.5. Положение уровня ловушки После прекращения энергети- в энергозонах ческого воздействия на полупроводник избыточная концентрация носителей заряда в нем из-за процесса рекомбинации через некоторое время уменьшается до нуля. Скорость изменения концентрации пропорциональна избыточной концентрации Дп, обратно пропорциональна времени жизни т: £(Дп) П-По По е (2.8) и равна разности скоростей генерации и рекомбинации носителей. Генерация и рекомбинация через ловушки. Ловушки представляют собой совокупность локальных энергетических уровней, расположенных в запрещенной зоне полупроводника (рис. 2.5). Они создаются посторонними частицами примесей и дефектами кристаллической решетки. Дефекты структуры возникают при нарушении симметрии связей в атомах, а также при появлении поверхностных пленок в результате окисления или абсорбирования газов и т. п. На промежуточные уровни в запрещенной зоне могут переходить электроны из валентной зоны (при генерации пар), а затем из этих уровней - в зону проводимости. Аналогичным путем через промежуточные уровни электроны возвращаются из зоны проводимости в исходную валентную зону. Промежуточные уровни, исключающие на некоторое время часть электронов и дырок из процесса электропроводимости, называют центрами захвата, или ловушками. Ловушки возникают не только в глубине запрещенной зоны, но и на поверхности полупроводника, поэтому генерация и рекомбинация носителей могут происходить как в объеме кристалла, так и на его поверхности. Ловушки влияют на время жизни носителей, уровень шумов, стабильность свойств полупроводниковых структур. § 2.4. Распределение носителей заряда по зонам Электроны занимают энергетические уровни в соответствии с величиной сообщаемой им энергии. В условиях термодинамического равновесия распределение носителей заряда по энергетическим состояниям подчиняется статистике Ферми. Вероятность того, что при абсолютной температуре Т энергетическое состояние с энергией W занято электроном, аналитически определяется функцией распределения Ферми (2.9) где \С - энергоуровень в зоне, вероятность заполнения которого мы определяем; - уровень Ферми - энергоуровеиь, функция Ферми для которого при температурах, отличных от О К, равна 0,5; й=1,38-10- Дж/град - постоянная Больцмана, характеризующая среднюю кинетическую энергию теплового движения свободного электрона в проводнике при температуре 1 К- Для перехода от энергии в джоулях к электрон-вольтам следует разделить W к kT на элементарный заряд (см. § 2.1), тогда где ф - потенциал, характеризующий рассматриваемый уровень; фр - уровень Ферми, В; фт - температурный потенциал. «р-с = кТ/е=1,38 10-237-/(1,6-10-19) = Г/11 600. (2.10) (2.11) При комнатной температуре 7=273-Ь=273Ч-17=300 К фт~ - 0,025 В. Физически фт представляет среднюю кинетическую энергию свободного электрона в электронном газе. Рассмотрим функцию распределения. Предположим, что Г-0, тогда [согласно выражению (2.10)] при значениях энергии ф<фу экспонента eiF)/ е °° -j. 0; а вероятность заполнения уровня „(ф) = 1. Это значит, что при 7=0 К все разрешенные энергетические состояния в интервале энергии от О до ц)р, т. е. ниже уровня Ферми (ф<Ф), заняты электронами {/„ (ф) = 1]. При и ф>ф экспонентаеС)/*-* е"-*оо, а „(¥)=0.Это значит, что при Г=ОК все разрешенные энергетические состояния, превышающие уровень Ферми (ф>фу), свободны: Fn{((f)=0- Функция распределения Fn (ф) при температуре абсолютного нуля О К имеет ступенчатый характер (на рис. 2.6 она изображена ступенчатой жирной линией). Уровень Ферми ф в этом случае характеризует максимальную энергию электрона в структуре. Статистически функцию п(ф) можно истолковать так. При Т= = 0К вероятность заполнения электронами уровней в интервале энергии ф<ф равна 1, т. е. все возможные уровни энергии Заняты, а вероятность занятия элект-Рис. 2.6. Зонная диаграмма собствен- „„„„,„ vnnRHPft в интрпвале Энец-ного полупроводника и функция рас- ронами уровнен в интервале энер пределения Ферми гии ф>фр- равна О, т. е. все -проводимости. Зона-- Запрешен пая зона Fn(flnpuT=OK ШМпраТ>ОН [0] [1] [2] [3] [4] [ 5 ] [6] [7] [8] [9] [10] [11] [12] [13] [14] [15] [16] [17] [18] [19] [20] [21] [22] [23] [24] [25] [26] [27] [28] [29] [30] [31] [32] [33] [34] [35] [36] [37] [38] [39] [40] [41] [42] [43] [44] [45] [46] [47] [48] [49] [50] [51] [52] [53] [54] [55] [56] [57] [58] [59] [60] [61] [62] [63] [64] [65] [66] [67] [68] [69] [70] [71] [72] [73] [74] [75] [76] [77] [78] [79] [80] [81] [82] [83] [84] [85] [86] [87] [88] [89] [90] [91] [92] [93] [94] [95] [96] [97] [98] [99] [100] [101] [102] [103] [104] [105] [106] [107] [108] [109] [110] [111] [112] [113] [114] [115] [116] [117] [118] [119] [120] [121] [122] [123] [124] [125] [126] [127] [128] [129] [130] [131] [132] [133] [134] [135] [136] [137] [138] [139] [140] [141] [142] [143] [144] [145] 0.0178 |