твора скорость образования сплава, а следовательно, и толщина промежуточной пленки увеличиваются. В результате возрастает удельное сопротивление осадка.

Взаимное смещение кривых р=ф(°С) для осадков 1, 2 а 3 вызвано изменением зернистости и напряжений II рода. Наиболее мелкозернисты осадки 1, в осадках 2

о 18 1920 21 2225 212526 272829 30 3/ 32

334 3

Рис. 5.5. Зависимость удельного сопротивления осадков химически восстановленной меди и гальванического серебра от режимов осаждения

И 3 размер зерен возрастает (причем максимальной величины зерна достигают в осадках 2). Заметное отличие удельного сопротивления осадков 4, обусловлено их пористостью значительно большей, чем у осадков 1, 2 и 3.

На рис. 5.5 показаны зависимости изменения удельного сопротивления серебряных осадков, полученных из цианистого электролита от плоскости тока и температуры, при которой протекает процесс осаждения. С изменением плотности тока незначительное изменение удельного сопротивления осадков отмечается лишь при минимальных температурах (18-20°С). В условиях же по-

вышенных температур наблюдается тенденция к уменьшению величины удельного сопротивления.

Для получения минимального и воспроизводимого удельного сопротивления токонесущих поверхностей надо выбирать составы растворов н режимы осаждения меди, при которых осадки получаются плотными беспористыми. Режимы осаждения должны поддерживаться постоянными. Удельное сопротивление осадков серебра меньше зависит от постоянства режимов осаждения.

Изготовление полосковых волноводов отличается от производства низкочастотных печатных схем необходимостью обеспечения высокой точности размеров полоскового проводника.

Основные причины неточности изготовления полосковых проводников фотохимическим способом: неточность фотооригинала; изменение размеров изображения полоскового проводника на рабочем негативе при изготовлении его с фотооригинала; несоответствие размеров маски и рабочего негатива, а также размеров проводников и маски.

Применение фоторепродукционного способа для изготовления фотооригинала искажает размеры полосковой системы. Искажения могут быть вызваны деформацией фотооригинала при изменении окружающих условий (температура, влажность).

Так, уже при изменении температуры полиэфирной подложки эталонных чертежей в пределах ±7° С на длине 750 мм набегает ошибка 0,25.ш. Такие же искажения возникают при изменении влажности на 20%-

При изготовлении полосковых волноводов фотохимическим способом лучшее качество фотоорнгинала достигается при вырезании его в масштабе I : 1 на силикатном стекле, покрытом тонкой лаковой пленкой.

Рабочий негатив изготавливают контактной печатью с фотооригинала.

Однако ширина изображения полоскового проводника на рабочем негативе даже при контактной печати с фотооригинала зависит от характеристик используемого фотоматериала, экспозиции и факторов проявления.

На рис. 5.6 показана экспериментальная зависимость ширины изображения проводника на рабочем фотонегативе от времени экспозиции.

Граница изображения полоскового проводника на рабочем фотонегативе определяется так называемой п о-

граничной кривой, характеризующей распределение оптической плотности между экспонированными участками светочувсгвительного слоя и его неэкспонированной частью.

Пограничная кривая почернения показана на рис. 5.7, Форма пограничной кривой, кроме диффузного рассеяния света в светочувствительном слое, являющегося главной причиной нерезкости изображения, зависит также от условий экспонирования и проявления.

0,99

а It 0,98

Время экспозиции, сек

ю а /2

Рис. 5.6. Зависимость относительного изменения ширины изображения полоскового проводника на рабочем фотонегативе от времени экспозиции

При печати с рабочего негатива на металлизированном диэлектрике, покрытом светочувствительной эмульсией, размеры получаемой маски зависят от свойств светочувствительной эмульсии, качества негатива, экспозиции и факторов проявления.

Все это затрудняет получение точного соответствия рисунков маски и фотооригинала.

При правильном выборе времени экспозиции можно получить высокую точность. Для этого необходимо знать пограничую кривую, так как она определит распределение количества освещения на поверхности защитной эмульсии.

Изменение оптической плотности в граничной области рабочего негатива эквивалентно тому, что на разные участки этой области действует различное количество освещения. Для расчета распределения количества освещения в граничной области используем показатель плотности Cs, позволяющий определить эффект диффузного рассеяния света п фотослое рабочего негатива. Он имеет

размерность длины, выражается в микронах, зависит от свойств фотослоя и длины волны света, которым осуществляется экспонирование. Величина Cs не зависит от состава проявителя и экспозиции, получаемой фотографическим материалом. Последние факторы могут быть учтены с помощью характеристических кривых используемого фотоматериала.

Для фотоматериалов средней чувствительности Cs== = 30 мкм. Особрмелкозернистые низкочувствительные фотоматериалы характеризуются величиной Cs=20 мкм.

Для граничной области изображения проводника на фотонегативе количество освещения, действующее на фотослой, определяется выражениями:

/(х) о=1/2-10- л;<0;

/ {х)/1о= 1 - 1/2 • I0~"s х:о.

В экспонированной части слоя х<0, в неэкспонированной его части х>0.

При х=0, т. е. на гра- „ нице проводника, в результате диффузного рассеяния будет действовать /г количества освещения, действующего на неэкра-нированную часть рабочего негатива. Это соотношение справедливо для любых значений Cs, значит и для различных фотоматериалов. Пользуясь характеристиками кривых фотоматериала, при известных параметрах фотокопировального оборудования можно рассчитать оптическую прочность в граничной точке рабочего фотонегатива (точке х = 0).

Зная плотность фотонегатива в граничной точке, можно подбором времен экспозиции и проявления при печати на диэлектрике добиться того, чтобы эта плот-

/5 W 5

-5 -10 х,мкм

Рис. 5.7. Кривая распределения плотности d фотонегатива на краю изображения

ность была граничной при проявлении фотослоя, нанесенного на диэлектрик, т. е. чтобы светочувствительный слой на диэлектрике задубливался под воздействием света лишь при этой и меньших плотностях рабочего фотонегатива.

Получить защитную маску, размеры которой точно соответствовали бы размерам изображения на фотооригинале, можно следующим образом.

Изготавливается тест-негатив, состоящий из ряда нейтральных полей различной оптической плотности, причем плотность каждого последующего поля отличается от плотности предыдущего на 107о. Разность оптических плотностей участков негатива достигается изменением времени экспозиции при их получении. Затем производится экспонирование . металлизированного диэлектрика с нанесенным светочувствительным слоем с полученного тест-негатива. Печать ведется для образцов при различных выдержках, после чего следует операция проявления. Время проявления для всех образцов должно быть постоянно. После их обработки выбирается время экспозиции, при котором граничной областью проявления является участок тест-негатива, оптическая плотность которого определяется V2 количества освещения, действовавшего на фоточувствительный слой относительно величины освещения, подействовавшего на не-защищенпую часть экспонируемой пластины.

При таком времени экспозиции граница маски определяется плотностью граничной области фотонегатива, соответствующей оптической плотности в граничной точке тест-негатива.

Для стандартного фотокопировального оборудования можно определить величину /о в зависимости от времени экспозиции. Известно, что освещенность связана с количеством освещения зависимостью

где /о - количество освещения, лк-сек; Е - освещенность, лк; t - время освещения, сек.

Задавшись временем экспозиции при печати рабочего негатива {t) и измерив величину освещенности, можно определить величину количества освещения.

Зная величину /о и пользуясь характеристическими кривыми, найдем при выбранной выдержке t необходимое

время проявления для получения искомой плотности при количестве освещения /о/2, т. е. в граничной точке рабочего негатива.

Взаимосвязь времени экспозиции при изготовлении рабочего фотонегатива и маски с временем их проявления позволяет получить соответствие размеров маски и фотооригинала без промежуточного контроля размеров изображения проводника.

§ 5.2. СБОРКА ПОЛОСКОВЫХ УСТРОЙСТВ

Полосковые устройства на основе симметричных полосковых волноводов состоят из двух пластин. На поверхности одной пластины (платы-схемы) выполнен рисунок полосковых проводников, противоположная ее поверхность полностью металлизирована. Другая пластина (нлата-крышка) имеет только одну полностью металлизированную поверхность. Навесные элементы располагаются на плате-схеме. Плата-крышка неметаллизиро-ванной поверхности накладывается на полосковые проводники платы схемы.

Для размещения навесных элементов в плате-схеме и плате-крышке имеются" углубления. Вводы и выводы энергии СВЧ выполняются в виде коаксиально-полоско-вых переходов, устанавливаемых по периметру плат, залитых пенопластом, образующим корпус устройства. Технологический процесс сборки этих устройств следующий:

1) монтаж навесных элементов и предварительная сборка;

2) настройка;

3) окончательная сборка;

4) экранирование;

5) контроль электрических параметров;

6) заливка пенопластом;

7) контроль электрических характеристик;

8) окраска и маркировка;

9) выходной контроль.

При наличии навесных деталей, входящих в полос-ковое устройство, выводы их предварительно залужива-ются легкоплавким припоем ПОСК-50 с использованием 30% спирто-канифольного флюса н формуются. Формовку производят таким образом, чтобы выводы плотно